特气管道系统Special Gas Pipeline System是指SiH4,NF3,Cl2易燃易爆的气体、有毒的气体、有腐蚀性的气体、纯度特别高（超过百分之99.99）的一些具有高危险性，应确保具备可靠性的特气储存、输送与分配过程的设备、管道和部件总称，特气系统工程是用于实现特气系统得以稳定可靠使用的工程。公司提供从供气系统；排气处理、监视系统的综合管理系统；建立以稳定可靠为首的特气管理输送系统。提供设计、选型、制造、安装、测试、调试和系统托管服务等整体解决方案。

特气管道系统由储存、输送、分配、控制四类设备组成。其中“存储”指气源部分（特气柜），“输送”指配管部分（一般用双套管），“分配”指二次配部分（气体分配柜），“控制”指监督控制部分（气体管理系统）。