1、政策历程图

电子特气作为集成电路的重要耗材，随着中国集成电路行业的发展，对于行业的产业规划重视程度也逐渐提高，从“九五”计划的开发包括电子特气在内的材料到针对电子特气在内的集成电路产业技术攻关，中国关于电子特气的顶层设计引导性正在逐渐增强。

2、国家层面政策汇总及解读

——国家层面电子特气行业政策汇总

自2009年以来，工信部、科技部、国务院、国家能源局等多部门都陆续印发了支持、规范电子特气行业的发展政策，内容涉及电子特气发展技术路线、电子特气制备项目安全运行规范等内容：

——国家层面电子特气行业发展目标解读

分析《“十四五”规划和2035远景目标纲要》相关电子特气产业发展规划，前瞻得出国家基于集成电路产业化发展，对其上游关键材料电子特气的技术攻关发展予以支持，同时通过降低相关电子高纯材料制造企业的生产经营成本促进行业的发展。

3、各省市层面的政策汇总及解读

——31省市电子特气行业政策汇总

目前，我国现有及规划在建的电子特气产能集中分布于东部地区，东部多个省份在“十四五”期间提出若干项针对电子特气或者集成电路产业的支持型、规范性政策，给予电子特气生产技术、企业扶持、产业集群建设等方面的政策支持。

——31省市电子特气行业发展目标解读

“十四五”期间，中国工业气体、集成电路产能分布密集的东部地区基于自身区域产业发展提出相应的电子特气行业发展规划，其中如广东、辽宁等地基于优势城市、区域产业群加大技术投入，拓展包括电子特气在内的工业气体版图;江苏、浙江等集成电路产能密集省份则基于区域相关产业发展方向，有针对性地发展相应电子特气产业，提升集成电路产业化程度。各省份“十四五”时期具体发展规划列示如下：