电子特气产业产业链全景梳理

电子特种气体属于工业气体的一个细分领域，与工业气体产业链类似，电子特气产业链上游主要为原材料与制备设备，中游为加工处理环节，下游为销售环节。

中国电子特气产业链各环节的参与企业数量众多，产业链上游空分设备企业主要深冷股份、宏盛股份、建龙微纳等，工业废气原料相关上市企业主要有天壕壕环境、中创环保等;产业链中游海外企业主要包括空气化工、林德集团等，国内企业主要包括杭氧集团、华特气体、和远气体等;产业链下游环主要为半导体制备企业，主要有晶盛集团等。

电子特气产业产业链区域热力地图：集中分布于东部地区

从我国电子特气产业链企业的区域分布来看，电子特气产业产业链企业主要分布在东部地区，其中以山东、江苏、广东省布局最为密集，浙江、河南等地分布数量也相对较多。

从代表性企业分布情况来看，江苏、浙江、上海等地代表性企业较多，主要为中游环节的电子特气制备企业与下游的半导体制备企业，比如集中于江苏省的金宏气体、南大光电、扬杰科技、天龙光电等。

电子特气产业代表性企业产能/产量情况

中国业内企业发力提升电子特气业务产能。汇总代表性企业产能/产量情况，目前国内主要的特种气体厂商主要有金宏气体、华特气体、雅克科 技、昊华科技、南大光电等公司，陆续实现IC用高纯二氧化碳、高纯六氟乙烷、光刻气、超纯氨等多个产品的进口替代，具体产能产量情况如下：

注：汇总公布相关产能/产量数据的上市/非上市企业，其中部分企业无明确分离电子特气产能

电子特气产业代表性企业最新投资动向

2020年以来，电子特气产业代表性企业的投资动向主要包括收购公司拓展业务、募资扩大产能建设等，代表性企业最新投资动向如下：